Applied Materials представила электрохимическую систему SlimCell, предназначенную для нанесения проводящих покрытий в чипах, изготавливаемых по 65-нм нормам и менее.
Вместо использования одной емкости с химически активным веществом в технологии SlimCell используется несколько, что позволяет реализовать многоступенчатый процесс нанесения покрытий. Как утверждается, многоступенчатый процесс позволяет оптимизировать равномерность зазоров и планарность проводников на нормах менее 90 нм. При этом компания уверяет, что стоимость процесса почти в два раза ниже, чем у использующихся ныне традиционных подходов.
В системе SlimCell также имеется возможность обработки фасок (bevel clean), чистки и сушки (Spin-Rinse-Dry) и отжига (annealing), применяемых для снижения количества дефектов.
|
